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TOF-qSIMS飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀設(shè)計(jì)用于多種材料的表面分析和深度剖析應(yīng)用，包括聚合物，藥物，超導(dǎo)體，半導(dǎo)體，合金，光學(xué)和功能涂層以及電介質(zhì)，檢測(cè)限低于1ppm。

離子分析質(zhì)譜儀/飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜儀可分析來(lái)自固體樣品的二次陰、陽(yáng)離子和中性粒子。采用技術(shù)的SIMS 探針，便于連結(jié)到現(xiàn)有的UHV表面科學(xué)研究反應(yīng)室。

二次離子質(zhì)譜儀適合做多層薄膜的深度分析,可以做元素成像和混合模式掃描，自動(dòng)測(cè)量正、負(fù)和中性粒子。