四極質(zhì)譜儀因其相對可靠、較好的性能價格比的優(yōu)勢適合于定性、定量分析。其主要部件是質(zhì)量過濾器，用于過濾荷質(zhì)比不同的離子。
 

　　四極質(zhì)譜儀是基于在直流高頻四極分析領(lǐng)域中具有不同質(zhì)荷比的離子的軌跡的穩(wěn)定性來實現(xiàn)質(zhì)量分離的。它由四個平行且對稱放置的雙曲面電極(使用圓棒電極代替圖中的雙曲面電極)組成，這四個電極成對連接，并且直流和高頻疊加電壓Phi = U-Vcos T(12-45)式中，Umdash，mdash，直流電壓，Vmdash，mdash，高頻電壓振幅， mdash，mdash，敢打電壓角頻率( = 2pi，f)。這樣，就形成了雙曲線電勢分布的形式romdash，mdash，即雙曲面電極的內(nèi)接圓的半徑(簡稱場半徑)。當(dāng)質(zhì)荷比為m / e的離子沿著Z軸(分析場的場軸)進(jìn)入分析場時，離子的運(yùn)動方程可以表示為方程(12-47) ，表明離子在Z方向上以恒定速度運(yùn)動，而y和y方向上的運(yùn)動方程是火星微分方程。為了將其轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的Mathian微分方程，可以將以下運(yùn)動的轉(zhuǎn)換離子方程寫為標(biāo)準(zhǔn)的Mathian微分方程。從表中的數(shù)據(jù)可以看出，示例在Y方向上的移動主要基于。在該方向上的移動主要由基頻和一次諧波決定。(a)和(b)當(dāng)beta，y = 0.05(ay = mdash，0.233982，qy = mdash，0.704396)，和beta，x = 0.95(ax = + 0.233982，qx = + 0.704396)Y和X個穩(wěn)定的運(yùn)動軌跡示例。從中可以看出，Y方向的運(yùn)動主要由基頻決定，而X方向的運(yùn)動主要由基頻和一次諧波之差決定。從火星安徽偏方程的解中，我們還可以獲得穩(wěn)定離子運(yùn)動的較大振幅。
 

　　四極質(zhì)譜儀的精度高，用于監(jiān)測真空系統(tǒng)，能準(zhǔn)確地辨別常規(guī)的殘余氣體，便于及時檢測真空問題與快速解除故障。這臺全內(nèi)置的儀器可容易地連接任何真空室，內(nèi)置程序和TCP/IP接口，用于控制ToolCheck和運(yùn)行于系統(tǒng)控制器的標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)頁瀏覽器查閱結(jié)果，無需外接計算機(jī)。